SWIM-1510MS干涉仪

扫描白光干涉显微仪
产品特点及用途
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：
●     晶体（Wafer）
●     光盘/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk）
●     平面电组件（MEMS Components）
●     平面液晶显示器（LCD）
●     高密度线路印刷电路板（HDI PCB）
●     IC封装（IC Package）
以上其它材料分析与组件微表面研究
专业级的3D图形处理与分析软件（Post Topo）
●     提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析
●     提供自动表面平整化处理功能
●     提供高阶标准片的软件自校功能
●     深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式
●     线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度
      （waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据
●     区域分析方式提供图形分析与统计分析。
       具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能。
●     量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出
 
高速精密的干涉解析软件（ImgScan）
●     系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹
●     垂直高度可达0.1nm
●     高度的分析算法则，让你不在苦候测量结果
●     垂直扫描范围的设定轻松又容易
●     有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择
●     平台XYZ位置数显示，使检标的寻找快速又便利
●     具有手动/自动光强度调整功能以取得最佳的干涉条纹对比
●     具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择
●     具有专利的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌
●     具有自动布补点功能
●     可自行设定扫描方向
 
检测范例 

                                                           技术规格参数
型号 SWIM 1510MS
系统配备 显微镜、扫描控制器、移动平台、取得单元、个人计算机
显微镜 单眼显微镜（标准配件）
干涉物镜（选配）  放大率                     视野（mm）                   光学分辨率（nm）
   10X                             0.5                                     1.12
 20X                             0.25                                   0.84
 50X                             0.1                                      0.61                   
影像缩放                           1.0X（标配） 0.5X（选配）
垂直扫描控制器 扫描范围

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扫描分辨率

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扫描模式

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光强度调整

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扫描速度 100 μm 400 μm(选配)

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0.1nm

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自动

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自动/手动

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12nm/s（最快）
样品移动平台 X、Y平面多动平台

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Z轴移动平台

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位置数字显示单元

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偏移调整平台   150mm*100mm,手动（标准配件）

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80mm, 手动(标准配件)
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三轴光学尺与三轴数字显示器（分辨率1 μm）

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手动
  取得单元  影像传感器

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 感测器解析度  面型CCD（标准配件）

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640*480图像(标准配件)
电脑配件 Pentium-Computer,17" LCD  Monitor ,120G以上硬盘

分     
析     软       体        MS-Windows相容的资料撷取与分析软体 包含ISO粗糙度/阶高分析,快速付利叶转换和滤多，多样的2D和3D观测视角图,外形分析,图像缩放,标准影像档案格式转换等等
阶高标准片(选配)         50nm                 170nm           230nm              470nm           1800nm